逐次プラズマ活性化プロセスを用いる室温微小流体素子パッケージング

HOWLADER M.M.R.; SUEHARA S.; TAKAGI H.; KIM T.H.; MAEDA R.; SUGA T.

文献

J-GLOBAL ID：200902286768288162 整理番号：06A0677539

逐次プラズマ活性化プロセスを用いる室温微小流体素子パッケージング

Room-Temperature Microfluidics Packaging Using Sequential Plasma Activation Process

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HOWLADER M.M.R.

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資料名：

IEEE Transactions on Advanced Packaging (IEEE Transactions on Advanced Packaging)

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巻： 29 号： 3 ページ： 448-456 発行年： 2006年08月
JST資料番号： W0590A ISSN： 1521-3323 CODEN： ITAPFZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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