プラズマベースのイオンプロセスの研究開発における最近のトピックス

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J-GLOBAL ID：200902287977344637 整理番号：08A0039836

Recent Topics in R&D of the Plasma-Based Ion Process

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 128 号： 1 ページ： 5-8 発行年： 2008年01月01日
JST資料番号： S0808A ISSN： 0385-4205 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

プラズマベースのイオン注入と蒸着(PBII&D)は,固体材料...

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プラズマ応用

引用文献 (30件)：

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