文献

J-GLOBAL ID：200902288271924068   整理番号：03A0459699

シリコン単結晶のマイクロ摩耗特性と摩耗組織

Microwear Properties of Silicon Single Crystal and the Wear Structure

著者 (6件)： 有馬則和 (愛知工大 大学院) ,  高木誠 (愛知工大 工) ,  岩田博之 (愛知工大 総技研) ,  井村徹 (愛知工大 工) ,  佐々木勝寛 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  坂公恭 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 67  号： 6  ページ： 269-273  発行年： 2003年06月20日 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si単結晶を試料として,AFMを用いた微小荷重・微小領域にお...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (10件)：

• KANEKO, R. J. Vac. Sci. Technol. 1988, A6, 2, 363-367
• MIYAMOTO, T. J. Vac. Sci. Technol. 1991, B9, 1336-1339
• BHUSHAN, B. ASME J. Tribology. 1994, 116, 389-396
• LI, X. Thin Solid Films. 1999, 340, 210-217
• WEICK, B. Fundamentals of Tribology and Bridging the Gap between the Macro- and Micro/Nanoscales. 2001, 279-297

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン単結晶 ,  マイクロ ,  摩耗特性 ,  摩耗 ,  組織