傾斜/回転UVリソグラフィーによる3次元微細加工

文献

J-GLOBAL ID：200902288477265923 整理番号：04A0157316

3D microfabrication with inclined/rotated UV lithography

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資料名：
巻： A111 号： 1 ページ： 14-20 発行年： 2004年03月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

厚いネガフォトレジストSU-8を使った,傾斜/回転UVリソグ...

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固体デバイス製造技術一般

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