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J-GLOBAL ID:200902288878358347   整理番号:08A0385894

光音響顕微鏡と光音響トモグラフィーによる固体平面試料の映像化

著者 (2件):
資料名:
号: 19  ページ: ROMBUNNO.2-6  発行年: 2008年03月25日 
JST資料番号: L2125B  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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工業製品の製造段階における品質管理の面から非破壊検査が注目されている。本稿ではこれまでの点状レーザビームを使用した光音響顕微鏡による非破壊検査に線状ビームを導入し,X線CTの技術を応用することにより計測時間の短縮化を目的とした光音響トモグラフィ(光音響CT)を開発し,その理論的定式化とともにこれを用いた表面,表面下欠陥の検出実験および検討内容を報告した。理論的検討結果から光音響トモグラフィで得られる信号は,表面下欠陥の場合には吸収係数の和に,また表面欠陥の場合には点状レーザを用いて得られる信号を線状レーザの範囲に渡って加算したものであることがわかった。そしてこの信号から表面および表面下欠陥の原画像に近い再構成画像を得ることに成功した。
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分類 (1件):
分類
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音響信号処理 
タイトルに関連する用語 (5件):
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