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J-GLOBAL ID:200902289123336927   整理番号:06A0512628

大気圧マイクロプラズマ蒸着のための直交流超小型ネブライザの開発とアルコールからのナノカーボン材料調製への適用

Development of cross-flow micro-nebulizer for atmospheric pressure microplasma deposition and its application to prepare nano-carbon materials from alcohol
著者 (8件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 463-466  発行年: 2006年06月 
JST資料番号: L4468A  ISSN: 1382-3469  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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大気圧マイクロプラズマ蒸着での蒸着材料の多様化を目的に,液体...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
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薄膜成長技術・装置  ,  炭素とその化合物 
物質索引 (1件):
物質索引
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引用文献 (10件):
  • R. M. Sankaran and K. P. Giapis, J. Appl. Phys., 92, 2406-11(2002)
  • A. Hollander and L. Abhinandan, Surf. Coat. Tech, 174-175, 1175-77(2003)
  • Y. Shimizu, T. Sasaki, T. Ito, K. Terashima, and N.Koshizaki, J. Phys. D: App!. Phys., 36, 2940-2644(2003)
  • T. Kikuchi, Y. Hasegawa, and H. Shirai, J. Phys. D: Appl. Phys., 37, 1537-43(2004)
  • H. Yoshiki, K. Ikeda, A. Wakaki, S. Togashi, K.Taniguchi and Y. Horiike, Jpn. J. Appl. Phys., 42, 4000-03(2003)
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