大気圧マイクロプラズマ蒸着のための直交流超小型ネブライザの開発とアルコールからのナノカーボン材料調製への適用

SHIMIZU Yoshiki; BOSE Arumugam. Chandra; SASAKI Takeshi; MARIOTTI Davide; KIRIHARA Kazuhiro; KODAIRA Tetsuya; TERASHIMA Kazuo; KOSHIZAKI Naoto

文献

J-GLOBAL ID：200902289123336927 整理番号：06A0512628

大気圧マイクロプラズマ蒸着のための直交流超小型ネブライザの開発とアルコールからのナノカーボン材料調製への適用

Development of cross-flow micro-nebulizer for atmospheric pressure microplasma deposition and its application to prepare nano-carbon materials from alcohol

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資料名：
巻： 31 号： 2 ページ： 463-466 発行年： 2006年06月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

大気圧マイクロプラズマ蒸着での蒸着材料の多様化を目的に,液体...

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薄膜成長技術・装置 , 炭素とその化合物

引用文献 (10件)：

R. M. Sankaran and K. P. Giapis, J. Appl. Phys., 92, 2406-11(2002)
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H. Yoshiki, K. Ikeda, A. Wakaki, S. Togashi, K.Taniguchi and Y. Horiike, Jpn. J. Appl. Phys., 42, 4000-03(2003)

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