文献
J-GLOBAL ID：200902289213402244   整理番号：07A0029868

電気負性プラズマ鞘中の電場分布

Distribution of electric field in the sheath of an electronegative plasma
著者 (3件)：
TAKIZAWA K.

TAKIZAWA K. について

(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)

Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN について

, 
KONO A.

KONO A. について

(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)

Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN について

, 
SASAKI K.

SASAKI K. について

(Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN)

Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Nagoya Univ., Nagoya 464-8603, JPN について


資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 90  号： 1  ページ： 011503-011503-3  発行年： 2007年01月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電気負性Ar/SF6プラズマとバイアス...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*電位分布

電位分布 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*流体模型

流体模型 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0029868&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ診断 
(BJ02090L)

プラズマ診断 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
プラズマ鞘

プラズマ鞘 について

, 
電場分布

電場分布 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM