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J-GLOBAL ID：200902289368478620   整理番号：03A0736371

高速重イオンにより起こしたTiO2の構造変化とその3次元リソグラフィーへの応用

Structural change induced in TiO2 by swift heavy ions and its application to three-dimensional lithography.
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著者 (9件)：
NOMURA K

NOMURA K について

(Waseda Univ., Tokyo, JPN)

Waseda Univ., Tokyo, JPN について

, 
NAKANISHI T

NAKANISHI T について

(Waseda Univ., Tokyo, JPN)

Waseda Univ., Tokyo, JPN について

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NAGASAWA Y

NAGASAWA Y について

(Waseda Univ., Tokyo, JPN)

Waseda Univ., Tokyo, JPN について

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OHKI Y

OHKI Y について

(Waseda Univ., Tokyo, JPN)

Waseda Univ., Tokyo, JPN について

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AWAZU K

AWAZU K について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について

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FUJIMAKI M

FUJIMAKI M について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について

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KOBAYASHI N

KOBAYASHI N について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN について

, 
ISHII S

ISHII S について

(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)

Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN について

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SHIMA K

SHIMA K について

(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)

Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN について


資料名：
Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)

Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics について


巻： 68  号： 6  ページ： 064106.1-064106.8  発行年： 2003年08月 
JST資料番号： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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数十MeVオーダの高エネルギー重イオンでルチル型TiO<su...
シソーラス用語：
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*酸化チタン

酸化チタン について

,...
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分類 (1件)：
分類
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その他の物質の放射線による構造と物性の変化 
(BK16124V)

その他の物質の放射線による構造と物性の変化 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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高速重イオン

高速重イオン について

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TiO2

TiO2 について

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3次元

3次元 について

, 
リソグラフィー

リソグラフィー について

, 
応用

応用 について


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