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J-GLOBAL ID：200902289714587104   整理番号：04A0113616

高アスペクト比のマイクロ部品とマイクロシステムの精密製造へのLIGA技術の応用

Applications of LIGA technology to precision manufacturing of high-aspect-ratio micro-components and -systems: a review

著者 (2件)： MALEK C K (Lab. Physique et Metrologie des Oscillateurs (LPMO)-CNRS, Besancon, FRA) ,  SAILE V (Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU)
資料名： Microelectronics Journal  (Microelectronics Journal)
巻： 35  号： 2  ページ： 131-143  発行年： 2004年02月 
JST資料番号： A0186A  ISSN： 0026-2692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSデバイス製造の主導技術は種々の派生技術を含めたSiマ...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： LIGA ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高アスペクト比 ,  マイクロ部品 ,  マイクロシステム ,  精密 ,  LIGA技術 ,  応用