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J-GLOBAL ID:200902290250878591   整理番号:03A0254978

高周波マグネトロンスパッタリングで成長させたZr/Ti比の異なるエピタキシャルPb(Zr,Ti)O3膜の結晶学的特性評価

Crystallographic characterization of epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 films with different Zr/Ti ratio grown by radio-frequency-magnetron sputtering
著者 (6件):
資料名:
巻: 93  号:ページ: 4091-4096  発行年: 2003年04月01日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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エピタキシャルPZT膜の結晶構造をZr/Ti比と結晶配向に関...
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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