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J-GLOBAL ID:200902290986550690   整理番号:06A0113841

プラスチック基板用の超低温ポリシリコン薄膜トランジスタ

Ultra-Low Temperature Poly-Si Thin Film Transistor for Plastic Substrate
著者 (11件):
資料名:
巻: 48  号: Supplementary 1  ページ: S61-S63  発行年: 2006年01月31日 
JST資料番号: T0357A  ISSN: 0374-4884  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 韓国 (KOR)  言語: 英語 (EN)
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RFスパッタした非晶質シリコン(a-Si)のエキシマレーザ結...
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