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J-GLOBAL ID：200902291360605554   整理番号：03A0103794

フェムト秒レーザパルスによるガラス中のナノ及びマイクロプロセシングに向けて

Toward nano- and microprocessing in glass with femtosecond laser pulses.
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著者 (2件)：
ITOH K

ITOH K について

(Osaka Univ.)

Osaka Univ. について

, 
WATANABE W

WATANABE W について

(Osaka Univ.)

Osaka Univ. について


資料名：
RIKEN Review  (RIKEN Review)

RIKEN Review について


号： 50  ページ： 90-94  発行年： 2003年01月 
JST資料番号： J0877A  ISSN： 0919-3405  CODEN： RIREE6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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130fsのTi-サファイアレーザパルスを照射することにより...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*パルスレーザ照射

パルスレーザ照射 について

,...
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分類 (3件)：
分類
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レーザ照射・損傷 
(BK16040S)

レーザ照射・損傷 について

,  特殊加工 
(QC04000Y)

特殊加工 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
フェムト秒レーザパルス

フェムト秒レーザパルス について

, 
ガラス

ガラス について

, 
マイクロ

マイクロ について

, 
プロセシング

プロセシング について


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