文献

J-GLOBAL ID：200902291531772357   整理番号：05A1043695

セリア,二酸化けい素および窒化けい素表面間の界面反応性 有機添加物の効果

Interfacial Reactivity Between Ceria and Silicon Dioxide and Silicon Nitride Surfaces Organic Additive Effects

著者 (2件)： CARTER Phillip W. (Cabot Microelectronics, Illinois, USA) ,  JOHNS Timothy P. (Cabot Microelectronics, Illinois, USA)
資料名： Electrochemical and Solid-State Letters  (Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 8  号： 8  ページ： G218-G222  発行年： 2005年 
JST資料番号： W1290A  ISSN： 1099-0062  CODEN： ESLEF6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： セリア研磨剤を使ったSiO₂とSi<s...

シソーラス用語： *研磨 ,...
準シソーラス用語： 化学的機械的研磨 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A1043695&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W1290A") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

タイトルに関連する用語 (5件)： セリア ,  二酸化けい素 ,  窒化けい素 ,  界面反応 ,  添加物