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J-GLOBAL ID：200902291769308080   整理番号：03A0778886

種々の入射角のレーザ干渉法による薄膜の厚み測定

Measurement of thickness of a thin film by means of laser interference at many incident angles

著者 (6件)： ISHIKAWA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  YAMANO H (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  KAGAWA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  ASADA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  IWATA K (Univ. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  UEDA M (Fukui Univ., Fukui, JPN)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 41  号： 1  ページ： 19-29  発行年： 2004年01月 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記干渉法を用いて薄い透明膜の膜厚(h)を直接測定する二つの...

シソーラス用語： *光干渉法 ,...

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分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 入射角 ,  レーザ干渉法 ,  薄膜 ,  厚み測定