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J-GLOBAL ID：200902292171275019   整理番号：04A0712670

3Dミクロ構造のためのエキシマレーザーマイクロマシニング

Excimer laser micromachining for 3D microstructure
著者 (4件)：
CHOI K H

CHOI K H について

(Cheju National Univ., Jeju, KOR)

Cheju National Univ., Jeju, KOR について

, 
MEIJER J

MEIJER J について

(Univ. Twente, Enschede, NLD)

Univ. Twente, Enschede, NLD について

, 
MASUZAWA T

MASUZAWA T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
KIM D-H

KIM D-H について

(Cheju National Univ., Jeju, KOR)

Cheju National Univ., Jeju, KOR について


資料名：
Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)

Journal of Materials Processing Technology について


巻： 149  号： 1/3  ページ： 561-566  発行年： 2004年06月10日 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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エキシマレーザーを用いたマイクロマシニングによる3D加工につ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*レーザ穴あけ

レーザ穴あけ について

,...
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分類 (2件)：
分類
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特殊加工 
(QC04000Y)

特殊加工 について

,  機械加工,仕上げ一般 
(YH04111G)

機械加工,仕上げ一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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3D

3D について

, 
ミクロ構造

ミクロ構造 について


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