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J-GLOBAL ID：200902292251155804   整理番号：04A0910783

マイクロ波プラズマCVDによる単結晶ダイヤモンドの高速成長 II

著者 (4件)： 杢野由明 (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  茶谷原昭義 (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  堀野裕治 (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  藤森直治 (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 18th  ページ： 48-49  発行年： 2004年11月29日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： マイクロ波 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ波プラズマCVD ,  単結晶ダイヤモンド ,  成長