ミクロン間隔をもつデバイスの電気破壊現象

CHEN Ching-Heng; YEH J Andrew; WANG Pei-Jen

文献

J-GLOBAL ID：200902292520700342 整理番号：06A0599022

ミクロン間隔をもつデバイスの電気破壊現象

Electrical breakdown phenomena for devices with micron separations

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巻： 16 号： 7 ページ： 1366-1373 発行年： 2006年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

標準の微小電気機械システム(MEMS)プロセスにより,不純物...

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ロボットの設計・製造・構造要素 , 固体デバイス製造技術一般

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