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J-GLOBAL ID：200902292586404965   整理番号：09A1176906

開拓者たちの系譜-18-イノベーションを支える電子顕微鏡の進化 先端科学分析機器から工業用計測器へのパラダイムシフト

著者 (1件)： 大林秀仁 (日立ハイテクノロジーズ)
資料名： 日立評論
巻： 91  号： 11  ページ： 806-811  発行年： 2009年11月01日 
JST資料番号： F0062A  ISSN： 0367-5874  CODEN： HITAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SEM(走査型電子顕微鏡)の高分解能を実現したFE(電界放出型)-SEMと半導体デバイスの微細化を支えた測長SEMの技術開発について解説した。電子顕微鏡の始まりから説明し,FE-SEMについて,FE電子源の始まり,FE技術の導入,FE-SEMの製品化について簡単に述べた。測長SEMについては,半導体デバイスの動向を述べて,測長SEM開発プロジェクトを説明した。工業用計測器としての測長SEMについて,製造ライン設置,電子顕微鏡動作をPCで制御化,傾斜ステージからの脱却,寸法標準の準備について解説した。

シソーラス用語： 電子顕微鏡 ,  技術革新 ,  *技術進歩 ,  *走査電子顕微鏡 ,  *電界放出 ,  長さ測定 ,  生産ライン ,  技術導入 ,  計算制御
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (6件)：

• 財団法人電気学会編: 第2回でんきの礎--振り返れば未来が見える--, p10~11 (2009.7)
• 独立行政法人国立科学博物館: 産業技術史データベース, 資料番号103510401095
• Y. Nakayama et al.: Proposal for a new submicron dimension reference for an electron beam metrology system, pp. 1930-1933, J. Vac. Sci. Technol. B, Vol.6, No.6, Nov/Dec (1988)
• JEITA半導体部会ICガイドブック編集委員会編: ICガイドブック, 2009年
• 財団法人大河内記念会編: 第43回大河内記念賞受賞論文集 (2008.3)

タイトルに関連する用語 (10件)： 開拓 ,  系譜 ,  イノベーション ,  電子顕微鏡 ,  進化 ,  先端科学 ,  分析機器 ,  工業 ,  計測器 ,  パラダイムシフト