NAKAYAMA Y について
Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN について
OKAZAKI S について
Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN について
SUGIMOTO A について
Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について
干渉計 について
電子レンズ,電子エネルギー分析器 について
電子ビーム について
計測工学 について
サブミクロンレベル について