多孔質MoO<sub>3</sub>スパッタ膜からできたNO<sub>2</sub>ガスセンサ

文献

J-GLOBAL ID：200902292662792651 整理番号：05A0303306

多孔質MoO₃スパッタ膜からできたNO₂ガスセンサ

NO₂ Gas Sensor Made of Porous MoO₃ Sputtered Films

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資料名：
巻： 44 号： 1B ページ： 792-795 発行年： 2005年01月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

三酸化モリブデン膜を様々な基板温度と放電ガス圧で石英基板上に...

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酸化物薄膜 , その他の固体デバイス

引用文献 (25件)：

1) L. Shi, Y. Hasegawa, T. Katsube, K. Onoue and K. Nakamura: Sensor Actuat. B 99 (2004) 361.
2) T. K. H. Starke, G. S. V. Coles and H. Ferkel: Sensor Actuat. B: 85 (2002) 239.
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