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J-GLOBAL ID：200902292722207494   整理番号：08A1128308

SUS304鋼表面でのミクロな大気汚染物の付着および紫外線・オゾン処理によるそれらの除去

Adhesion of Atmospheric Micro-Contaminants on SUS304 Steel Surface and Their Removal by UV-O₃ Treatment

著者 (3件)： 王栄光 (広島工業大学工学部機械システム工学科) ,  徳山貴路 (広島工業大学大学院工学研究科機械システム工学専攻) ,  木戸光夫 (広島工業大学工学部機械システム工学科)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 72  号： 11  ページ： 856-862 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 清浄な材料表面の実現には,付着したミクロな大気汚染物(又は付着物)の様相の解明とその除去が必要である。本研究では,耐食性に優れたSUS304ステンレス鋼を選び,表面に存在するミクロな大気汚染物の付着様相の観察,及び紫外線・オゾン照射処理による清浄表面の創製を試みた。表面の清浄程度は大気中におけるAFMによる直接的な観察,マクロな水濡れ法,ミクロな水濡れ法,及び真空中におけるX線光電子分光分析法(XPS)で調査,評価した。UV-O₃3処理の時間が長いほどミクロな汚染物の除去量は多かった。本処理では大気汚染物中の水分は部分的にしか除去できないが,汚染物中の有機汚染物の大部分は除去できた。

シソーラス用語： *オーステナイト系ステンレス鋼 ,  オーステナイト鋼 ,  耐食性金属 ,  *表面構造 ,  表面性状 ,  清浄面 ,  大気汚染 ,  大気汚染物質 ,  付着物 ,  紫外線照射 ,  オゾン ,  オゾン処理 ,  清浄度 ,  濡れ ,  有機化合物 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  立体画像 ,  *表面処理 ,  SUS304 ,  三次元画像 ,  *構造 ,  汚染物質
準シソーラス用語： 表面組織 ,  *清浄表面 ,  清浄化 ,  濡れ性 ,  処理時間

分類 (1件)： 表面処理一般  (WC08010R)

引用文献 (16件)：

• 1) Materials Science Society of Japan: Surface Treatment in Materials, (Shokabo, Co., Tyoko, 1996) pp. 1-234.
• 2) Toray Research Center: Cleaning Technology for Electronics, (Toray Research Center, Inc., 2005) pp. 1-22.
• 3) Editing Committee of Seimitsu Senjyou Soutsi to Saishin Ouyou Gijyutsu: Seimitsu Senjyou Soutsi to Saishin Ouyou Gijyutsu, (Kou Gyou Siryou Center, Inc., 1991) pp. 447-458.
• 4) S. Suzuki, S. Ichimura, A. Kurokawa, Y. Ishikawa, M. Isshiki and Y. Waseda: Mater Trans. JIM 38(1997) 451-456.
• 5) M. Yaguchi: Senjyou Gijyutsu Seihin Hyakka, (Kogyo Chosakai Publishing, Inc.,1995) pp. 82-89

タイトルに関連する用語 (4件)： SUS304 ,  大気汚染物 ,  紫外線 ,  オゾン処理