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J-GLOBAL ID：200902292921445701   整理番号：06A0896426

発光光量測定による二重周波数容量結合フォトレジスト灰プラズマにおける中性種密度の特性評価

Characterization of neutral species densities in dual frequency capacitively coupled photoresist ash plasmas by optical emission actinometry

著者 (4件)： WORSLEY M. A. (Dep. of Chemical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305) ,  BENT S. F. (Dep. of Chemical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305) ,  FULLER N. C. M. (Semiconductor Res. and Dev. Center, IBM Res. Div., Yorktown Heights, New York 10598) ,  DALTON T. (Semiconductor Res. and Dev. Center, IBM Res. Div., Yorktown Heights, New York 10598)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 100  号： 8  ページ： 083301-083301-10  発行年： 2006年10月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 発光分光・Kr光量測定・モデル化を用いて,Ar/O<sub>...

シソーラス用語： *灰化 ,...
準シソーラス用語： 解離反応

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光量測定 ,  二重周波数 ,  容量結合 ,  フォトレジスト ,  灰 ,  プラズマ ,  中性 ,  特性評価