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J-GLOBAL ID:200902293204335680   整理番号:08A0773505

空気中のプロトン-ポンピングゲートFET水素ガスセンサーの応答機構の解析

Analysis of response mechanism of a proton-pumping gate FET hydrogen gas sensor in air
著者 (5件):
資料名:
巻: 133  号:ページ: 538-542  発行年: 2008年08月12日 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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三重層のゲート構造をもつプロトン-ポンピングゲート電界効果トランジスター(FET)では,2つの異なる型の水素応答信号(DCとAC)が現れる。プロトン-ポンピングゲートFETは他のガス(CH4,C2H6,NH3およびO2)に対して優れた選択性を示した。実用化するために,実際に使用する空気(酸素と窒素の混合物)中のプロトン-ポンピングゲートFETの水素応答特性を調べた。窒素中のプロトン-ポンピングゲートFETは空気中と同様に酸素の干渉がなくても異なる水素応答特性を示した。これらの応答特性を分類するために,ガスフロー系と電気化学インピーダンス分光法によって水素応答測定を行った。その結果,窒素と空気の応答の違いは水素解離反応と上位のPdゲート電極に吸着している酸素によって生じるプロトン移動の妨害によるものであることがわかった。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
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分析機器  ,  その他の接合  ,  トランジスタ 

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