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J-GLOBAL ID：200902293306074619   整理番号：06A0510053

二極パルスを持つプラズマ利用イオン注入技術によって堆積させたダイヤモンド状炭素膜の熱安定性

Thermal stability of diamond-like carbon films deposited by plasma based ion implantation technique with bipolar pulses

著者 (5件)： CHOI Junho (Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...) ,  MIYAGAWA Soji (Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...) ,  NAKAO Setsuo (Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...) ,  IKEYAMA Masami (Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...) ,  MIYAGAWA Yoshiko (Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 2266-98 ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 4-8  ページ： 948-951  発行年： 2006年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： けい素組込みダイヤモンド状炭素(DLC)膜を二極型プラズマ利...

シソーラス用語： イオン注入 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルス ,  プラズマ ,  イオン注入 ,  堆積 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  熱安定性