銅ダマシン電着用の添加剤の役割  抑制および促進効果に対する実験的研究

KONDO K; MATSUMOTO T; WATANABE K

文献

J-GLOBAL ID：200902294312393331 整理番号：04A0314390

銅ダマシン電着用の添加剤の役割抑制および促進効果に対する実験的研究

Role of Additives for Copper Damascene Electrodeposition Experimental Study on Inhibition and Acceleration Effects

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巻： 151 号： 4 ページ： C250-C255 発行年： 2004年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

超LSIダマシン銅電着析出物の形態を種々の方法によってキャラ...

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電気化学反応 , 脂肪族スルホン酸・スルフィン酸・スルフェン酸 , 固体デバイス製造技術一般

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