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J-GLOBAL ID：200902294551427612   整理番号：09A0713529

走査型プローブ顕微鏡法のマイクロプローブによるGaAs膜の直接作動

Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy

著者 (8件)： TAMARU Kojiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  TAMARU Kojiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NONAKA Keiichiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  NONAKA Keiichiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAGASE Masao (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  YAMAGUCHI Hiroshi (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  WARISAWA Shin’ichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 6,Issue 2  ページ： 06FG06.1-06FG06.5  発行年： 2009年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロおよびナノ共振器の動特性を高い空間分解能で評価する方法を発表する。円形マイクロメンブランの機械的共振を走査型プローブ顕微鏡(SPM)のマイクロプローブから印加した電圧によって直接生じさせる。同時に,振動振幅をSPMによって高さ情報として検出する。実験的に,200nm厚GaAsの基本モードと高次モードの高さ特性の周波数を測定した。高さモードの周波数は3.4MHzであり,その共振振幅は約1nmである。共振振幅は駆動電圧が180mV以下では駆動電圧に従って大きくなる。大きな駆動電圧はプローブと皮膜間の電場によって誘起される強力な引力に起因するバネ軟化効果により非線形振動を起こす。強いタッピング応力は反発的であり,バネ硬化効果によって起こる異なる種類の非線形を起こす。SPMによる機械共振器の同時の作動および検出により,マイクロメンブランとマイクロプローブ間の機械的相互作用の特性を明らかにできる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 走査型プローブ顕微鏡 ,  *動作 ,  マイクロプローブ ,  *ヒ化ガリウム ,  化合物半導体 ,  *半導体薄膜 ,  微小共振器 ,  *共振 ,  振幅 ,  相互作用 ,  非線形振動 ,  応力 ,  タップ加工
準シソーラス用語： *作動 ,  ナノ共振器 ,  タッピング

分類 (1件)： 振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

引用文献 (24件)：

• Y. T. Yang, C. Callegari, X. L. Feng, K. L. Ekinci, and M. L. Roukes: Nano Lett.6(2006)583.
• B. Ilic, Y. Yang, K. Aubin, R. Reichenbach, S. Krylov, and H. G. Craighead: Nano Lett.5(2005)925.
• D. Rugar, R. Budakian, H. J. Mamin, and B. W. Chui: Nature 430(2004)329.
• J. Yang, T. Ono, and M. Esashi: Sens. Actuators A 82(2000)102.
• V. Sazonova, Y. Yaish, H. Üstünel, D. Roundy, T. A. Arias, and P. L. McEuen: Nature 431(2004)284.

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型プローブ顕微鏡法 ,  マイクロプローブ ,  GaAs