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J-GLOBAL ID：200902294834689281   整理番号：03A0644958

LPWS法を用いたAr RF平行平板プラズマのモンテカルロシミュレーション

Monte Carlo Simulation of an Ar RF Parallel Plate Discharge Plasma Employing LPWS

著者 (5件)： 堀江育也 (北海道工大) ,  鈴木卓真 (北海道工大) ,  大森義行 (札幌大) ,  北守一隆 (北海道工大) ,  丸山晃市 (北海道工大)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 123  号： 9  ページ： 869-877  発行年： 2003年09月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平行平板電極におけるRF電界下でのArのプラズマ生成に関して...

シソーラス用語： *モンテカルロ法 ,...
準シソーラス用語： 平行平板 ,...

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分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (10件)：

• (1) Y. Matsuoka, M. Shiratani, T. Fukuzawa, Y. Watanabe, and K. Kim: Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, pp. 4556-4560 (1999)
• (2) A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira : T. IEE Japan, Vol. 111-A, No. 11, pp. 962-972 (1991-11)
• (3) A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira : J. Phys. D: Appl. Phys. Vol. 25, pp. 442-452, (1992)
• (4) M. Goto, Y. Kondoh, and A. Matsuoka : Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 36, pp. 4815-4819 (1997)
• (5) M. Goto and Y. Kondoh : Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 37, pp. 308-312 (1998)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ar ,  RF ,  平行平板 ,  プラズマ ,  モンテカルロシミュレーション