シランRF放電中で粒子成長に気体流が及ぼす効果

文献

J-GLOBAL ID：200902187181014983 整理番号：99A0772555

Effects of Gas Flow on Particle Growth in Silane RF Discharges.

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巻： 38 号： 7B ページ： 4556-4560 発行年： 1999年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

シャワー型パワー電極のプラズマ化学蒸着(PCVD)反応器中で...

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プラズマ応用 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (26件)：

HERSHKOWITZ, N. Proc.NATO Advanced Research Workshop on Formation, Transport and Consequences of Particles in Plasmas. Plasma Sources Sci.& Technol. 1994, 3, 239
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