極端紫外光源用のレーザ生成Snプラズマから発生する高速イオンのH<sub>2</sub>ガスによる低減

NAKAMURA Daisuke; TAMARU Koji; HASHIMOTO Yuki; OKADA Tatsuo; TANAKA Hiroki; TAKAHASHI Akihiko

文献

J-GLOBAL ID：200902295123619490 整理番号：08A0020828

極端紫外光源用のレーザ生成Snプラズマから発生する高速イオンのH₂ガスによる低減

Mitigation of fast ions generated from laser-produced Sn plasma for extreme ultraviolet light source by H2 gas

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=08A0020828&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=08A0020828&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

著者 (6件)：

NAKAMURA Daisuke

NAKAMURA Daisuke について

名寄せID(JGPN) 200901100313083333 ですべてを検索
「NAKAMURA Daisuke」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...)

Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ... について

名寄せID(JGON) 201551000096163114 ですべてを検索
「Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...」ですべてを検索
機関情報を見る

TAMARU Koji

TAMARU Koji について

名寄せID(JGPN) 200901100597355605 ですべてを検索
「TAMARU Koji」ですべてを検索

(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...)

Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ... について

名寄せID(JGON) 201551000096163114 ですべてを検索
「Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...」ですべてを検索
機関情報を見る

HASHIMOTO Yuki

HASHIMOTO Yuki について

名寄せID(JGPN) 200901100552927250 ですべてを検索
「HASHIMOTO Yuki」ですべてを検索

(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...)

Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ... について

名寄せID(JGON) 201551000096163114 ですべてを検索
「Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...」ですべてを検索
機関情報を見る

OKADA Tatsuo

OKADA Tatsuo について

名寄せID(JGPN) 200901100309385775 ですべてを検索
「OKADA Tatsuo」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...)

Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ... について

名寄せID(JGON) 201551000096163114 ですべてを検索
「Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Graduate School of Information Sci. and Electrical ...」ですべてを検索
機関情報を見る

TANAKA Hiroki

TANAKA Hiroki について

名寄せID(JGPN) 200901100534886147 ですべてを検索
「TANAKA Hiroki」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Electronic Information Section, Basic Technol. Div., Industrial Technol. Center of Nagasaki, 2-1303-8 Ikeda, Omura ...)

Electronic Information Section, Basic Technol. Div., Industrial Technol. Center of Nagasaki, 2-1303-8 Ikeda, Omura ... について

名寄せID(JGON) 201551000060476680 ですべてを検索
「Electronic Information Section, Basic Technol. Div., Industrial Technol. Center of Nagasaki, 2-1303-8 Ikeda, Omura ...」ですべてを検索

TAKAHASHI Akihiko

TAKAHASHI Akihiko について

名寄せID(JGPN) 200901100417139756 ですべてを検索
「TAKAHASHI Akihiko」ですべてを検索
研究者情報を見る

(Dep. of Health Sciences, School of Medicine, Kyushu Univ., 3-1-1 Maidashi, Higashi-ku, Fukuoka 812-8582, JPN)

Dep. of Health Sciences, School of Medicine, Kyushu Univ., 3-1-1 Maidashi, Higashi-ku, Fukuoka 812-8582, JPN について

名寄せID(JGON) 201551000096163114 ですべてを検索
「Dep. of Health Sciences, School of Medicine, Kyushu Univ., 3-1-1 Maidashi, Higashi-ku, Fukuoka 812-8582, JPN」ですべてを検索
機関情報を見る

資料名：

Journal of Applied Physics (Journal of Applied Physics)

Journal of Applied Physics について

JST資料番号 C0266A ですべてを検索
ISSN,ISBN,CODENですべてを検索
資料情報を見る

巻： 102 号： 12 ページ： 123310 発行年： 2007年12月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

抄録/ポイント：

抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

次世代リソグラフィーに使われる極端紫外(EUV)光源用のレー...

シソーラス用語：

シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

紫外光源

紫外光源について

「紫外光源」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=08A0020828&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

分類 (3件)：

分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです

光源

(BD07020D)

光源について

分類コード BD07020D で文献を検索
分類コード4桁 BD07 で文献を検索

, プラズマ応用

(BJ02110K)

プラズマ応用について

分類コード BJ02110K で文献を検索
分類コード4桁 BJ02 で文献を検索

, 光源,照明器具

(NB12020F)

光源,照明器具について

分類コード NB12020F で文献を検索
分類コード4桁 NB12 で文献を検索

タイトルに関連する用語 (6件)：

タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

極端紫外光源

極端紫外光源について

「極端紫外光源」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

レーザ

レーザについて

「レーザ」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

Sn について

「Sn」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

プラズマ

プラズマについて

「プラズマ」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

高速イオン

高速イオンについて

「高速イオン」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

H2ガス

H2ガスについて

「H2ガス」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る

前のページに戻る

極端紫外光源用のレーザ生成Snプラズマから発生する高速イオンのH2ガスによる低減

極端紫外光源用のレーザ生成Snプラズマから発生する高速イオンのH₂ガスによる低減