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J-GLOBAL ID：200902295167584014   整理番号：08A0657896

双安定予備加圧湾曲梁の双安定性と作製の研究

Investigation on Bistability and Fabrication of Bistable Prestressed Curved Beam

著者 (2件)： PANE Ivransa Zuhdi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  ASANO Tanemasa (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 6 Issue 2  ページ： 5291-5296  発行年： 2008年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Euler座屈の理論と最小エネルギー原理に基づく双安定予備加圧湾曲梁の双安定性を調べた。双安定性は湾曲梁の厚みに対する初期先端の比に大きく影響された。標準の珪素工程を用いて単結晶珪素でできた湾曲梁を作製した。この梁に電圧を印加して容量性静電駆動力を発生させた。印加電圧20~30Vで飛び移り現象を確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *双安定性 ,  *梁 ,  原理 ,  座屈 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  静電気応用 ,  力 ,  微細加工 ,  *MEMS
準シソーラス用語： Euler座屈 ,  最小エネルギー原理 ,  静電力 ,  双安定 ,  *湾曲梁

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (7件)：

• J. Qiu, J. H. Lang, and A. H. Slocum: J. Microelectromech. Syst.13(2004)137.
• M. Vangbo and Y. Backlund: J. Micromech. Microeng.8(1998)29.
• M. Vangbo: Sens. Actuators A 69(1998)212.
• B. Haig: IEEE Trans. Electron Devices 37(1990)2230.
• M. T. A. Saif: J. Microelectromech. Syst.9(2000)157.

タイトルに関連する用語 (6件)： 双安定 ,  加圧 ,  曲梁 ,  双安定性 ,  作製 ,  研究