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J-GLOBAL ID：200902295872112644   整理番号：09A0079274

STEM像の解釈(II)

著者 (2件)： 山崎貴司 (東京理大 理) ,  渡辺和人 (東京都産業技術高専)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 43  号： 4  ページ： 278-282  発行年： 2008年12月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高空間分解能が得られる高角度環状暗視野(HAADF)走査透過型電子顕微鏡(STEM)を使用して定量的局所構造解析を行う場合のSTEM像の解釈について解説した。まず,高角度明視野(HABF)STEM像が熱散漫散乱電子の量を弾性散乱からの差分として検出するのに対して,HAADF-STEM像は熱散漫散乱電子を直接検出することを示した。また,球面収差補正(SAC)HAADF-STEM像を非SACの場合と比較して以下の特徴を指摘した。分解能とS/Nが著しく向上するので,構造をサブÅの分解能で解析できる。それぞれの原子柱の相対強度は殆ど変化しないが,像形成に寄与する焦点外れ量と厚みの範囲は限定され,焦点深度は浅くなり,色収差の効果が無視できなくなる。軽元素の原子柱の直視可能性は原子番号のみでは決まらず,動力学的計算による検証が必要になる。

シソーラス用語： *高分解能電子顕微鏡 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *構造解析 ,  定量的分析 ,  局所性 ,  熱散漫散乱 ,  電子捕獲 ,  球面収差 ,  収差補正 ,  空間分解能 ,  SN比 ,  色収差 ,  像形成 ,  焦点深度 ,  補正装置 ,  *HAADF-STEM
準シソーラス用語： *高角度環状検出暗視野走査型透過電子顕微鏡

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (33件)：

• 1)山崎貴司,渡辺和人:顕微鏡,43,125-129(2008)
• 2)Xu, P., Kirkland, E.J. and Silcox, J.: Ultramicrosocpy, 32,93-102(1990)
• 3)Liu, J. and Cowley, J.M.: Ultramicrosocopy, 52,335-346(1993)
• 4)Watanabe, K., Kikuchi, Y., Yamazaki, T., Asano, E., Nakanishi, N., Kotaka, Y., Okunishi, E. and Hashimoto, I.: Acta Crystallogr., Sect. A: Found. Crystallogr., 60,591-597(2004)
• 5)Wang, Z.L.: Elastic and inelastic scattering in electron diffraction and imaging, Plenum Press, New York, 1995

タイトルに関連する用語 (1件)： STEM