プラズマアシスト化学気相成長法で合成した窒化ほう素炭素膜の電気的,光学的性質

文献

J-GLOBAL ID：200902296375348550 整理番号：04A0709955

Electrical and optical characteristics of boron carbon nitride films synthesized by plasma-assisted chemical vapor deposition

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巻： 13 号： 4/8 ページ： 1130-1134 発行年： 2004年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

BCNの電子デバイスへの適用を目的に,プラズマアシストCVD...

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