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J-GLOBAL ID:200902296617015127   整理番号:09A0796926

実験室規模の面内X線回折による擬hcp薄膜中積層欠陥の半定量的評価

Semi-quantitative evaluation of stacking faults in pseudo-hcp thin films by laboratory-scale in-plane x-ray diffraction
著者 (4件):
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巻: 42  号: 14  ページ: 145007,1-7  発行年: 2009年07月21日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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擬六方稠密構造(擬hcp)は,(111)方向面心立方(fcc),c面配向hcp,積層欠陥(SF)を持つその中間構造を含む。(11.0)と(10.0)面からの回折,DHとDLを面内X線回折(XRD)で観測した。構造因子より,DHとDLは,全原子層の数とABC原子相それぞれの数の不均衡から生じているとした。Lorentzおよび原子散乱補正後のDHとDLの強度比(補正IL/IH)は,厚さ,成分原子,格子定数に依存せず,擬hcp物質のSFの度合を定義する。完全hcpおよびfcc積層の補正IL/IHの理論値と統計計算よりこの指数は,完全hcp積層配列に非常に敏感であった。スパッタリングで作製された薄膜に適用し以下を確認した。1)Pt基膜はCr,Mo,Wの添加で-A-B-A-積層を安定化する。2)c面配向Co膜の補正IL/IHは0.04で純粋Co膜のhcp積層確率0.9に対応する。3)Co-Ir,Co-Pt合金膜において,22-25%の合金添加元素量で完全hcp積層に近づき,強い一軸性磁気異方性に寄与する因子の一つであると考察される。
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分類 (1件):
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金属薄膜 

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