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J-GLOBAL ID：200902296677755421   整理番号：05A0995524

マイクロ波プラズマCVDによる高速度ホモエピタクシャル成長の反復による単結晶ダイヤモンド合成

Synthesizing single-crystal diamond by repetition of high rate homoepitaxial growth by microwave plasma CVD

著者 (5件)： MOKUNO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA A. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SODA Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  FUJIMORI N. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 14  号： 11-12  ページ： 1743-1746  発行年： 2005年11月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンドの高速度ホモエピタ...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波プラズマCVD ,  高速度 ,  ホモ ,  エピタクシャル成長 ,  反復 ,  単結晶ダイヤモンド