文献

J-GLOBAL ID：200902296700935815   整理番号：03A0449537

酢酸,硝酸およびりん酸からなる半導体級エッチング液中の塩化物および硫酸塩の定量

Determination of chloride and sulfate in semiconductor-grade etchants comprised of acetic acid, nitric acid and phosphoric acid

著者 (3件)： VANATTA L E (Air Liquide-Balazs Analytical Serv., TX, USA) ,  COLEMAN D E (MST-C, PA, USA) ,  WOODRUFF A (Dionex Corp., CA, USA)
資料名： Journal of Chromatography A  (Journal of Chromatography A)
巻： 997  号： 1/2  ページ： 269-278  発行年： 2003年05月16日 
JST資料番号： C0278B  ISSN： 0021-9673  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 変動容量のDionex Cryptand A1カラムを低pp...

シソーラス用語： 傾斜溶離法 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0449537&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0278B") }}

分類 (2件)： 無機化合物のクロマトグラフィー,電気泳動分析  (CC04024W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 酢酸

タイトルに関連する用語 (7件)： 酢酸 ,  硝酸 ,  りん酸 ,  エッチング液 ,  塩化物 ,  硫酸塩 ,  定量