レーザ走査リソグラフィーのマイクロ円柱部品作製への応用

文献

J-GLOBAL ID：200902297322290670 整理番号：04A0543853

Application of Laser Scan Lithography to Fabrication of Microcylindrical Parts

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巻： 43 号： 6B ページ： 4031-4035 発行年： 2004年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

微細円柱試料についてレーザ走査リソグラフィーを調べ,レジスト...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (11件)：

1) B. Loechel, R. Demmeler, M. Rothe, W. Bruenger, S. Fehlberg and G. Gruetzner: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>14</B> (1996) 4179.
2) M. Despont, H. Lorenz, N. Fahni, J. Brugger, P. Renaud and P. Vettiger: Tech. Dig. 10th IEEE Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (1997) p. 518.
3) K. Hirota, M. Ozaki and T. Horiuchi: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 4031.
4) Y. Joshima, T. Kokubo and T. Horiuchi: Ext. Abstr. JSPE Spring Meet. (2002) p. 564 [in Japanese].
5) Y. Joshima and T. Horiuchi: Ext. Abstr. JSAP, 50th Spring Meet. (2003) p. 820 [in Japanese].

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