文献

J-GLOBAL ID：200902297344134280   整理番号：05A0012194

パルスEUV光を用いた光電子分光(EUPS)

Photoelectron Spectroscopy with a Pulsed EUV Source (EUPS)

著者 (7件)： 富江敏尚 (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  錦織健太郎 (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  LEE D-H (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  LIN J-Q (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  松嶋功 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  森脇大樹 (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  屋代英彦 (産業技術総合研 次世代半導体研究セ)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 32  号： 12  ページ： 793-798  発行年： 2004年12月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超高輝度光源としてのレーザ生成プラズマ(LPP)の狭帯域スペ...

シソーラス用語： *光電子分光法 ,...
準シソーラス用語： 真空紫外光電子分光法

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0012194&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0335A") }}

分類 (3件)： 電子分光法  (BK01050P) ,  プラズマ装置  (BJ02082I) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (19件)：

• 富江敏尚. 特許第2764505, 英国特許
• 米国特許#5,569,916
• TOMIE, T. Proc. SPIE. 1997, 3157, 176
• 科振費総合研究課題成果報告. http://www.chousei-seika.com/2004_s/2004_s_7/2004_s_7_5koudobunseki/mokuji.htm
• KONDO, H. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 2668

タイトルに関連する用語 (3件)： パルス ,  EUV光 ,  光電子分光