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J-GLOBAL ID:200902298837814201   整理番号:03A0156093

溶融シリコンの粘性と測定に影響する因子

Viscosity of molten silicon and the factors affecting measurement.
著者 (7件):
資料名:
巻: 249  号: 3/4  ページ: 404-415  発行年: 2003年03月 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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標記粘性を測定して特に融点付近での挙動を研究した。材料の効果...
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分類 (2件):
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半導体の結晶成長  ,  液体の輸送現象一般 
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