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J-GLOBAL ID：200902299011997551   整理番号：09A0461943

2つのボルト締めランジュバン型振動子で構成したV形トランスデューサを用いた高速高分解能の超音波リニアモータ

High speed, high resolution ultrasonic linear motor using V-shape two bolt-clamped Langevin-type transducers

著者 (5件)： ASUMI Kazumasa (Taiheiyo-Cement Corp.) ,  ASUMI Kazumasa (Tokyo Inst. of Technol.) ,  FUKUNAGA Ryouichi (Taiheiyo-Cement Corp.) ,  FUJIMURA Takeshi (Taiheiyo-Cement Corp.) ,  KURIBAYASHI KUROSAWA Minoru (Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： Acoustical Science and Technology  (Acoustical Science and Technology)
巻： 30  号： 3  ページ： 180-186 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： Z0931A  ISSN： 1346-3969  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2つのボルト締めランジュバン型振動子を用いたトランスデューサによる超音波リニアモータの構造を厳密に最適化し,その結果得られた多種のモータパラメータを示した。FEMによる解析結果と実験結果に基づいてモータヘッドブロック先端部の質量を調整し,振動子の対称および反対称共振周波数の整合を取った。ピエゾ素子を積層型とすることで駆動電圧を低くして制作したモータの速度は最良の状態で1.5m/s以上が得られ,推力は25Nであった。しかし従来型の共振駆動法では速度を100mm/s以下とすることはできなかった。慣性駆動法により速度を1mm/s以下とすることができ,直流駆動では1.5nmの高い位置分解能が得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *リニアモータ ,  *超音波変換器 ,  振動子 ,  共振周波数 ,  有限要素法
準シソーラス用語： *超音波リニアモータ ,  *超音波トランスデューサ ,  Langevin型振動子

分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

引用文献 (11件)：

• 1) J. S. Schoenwald, P. M. Beckham, P. M. Rattner, B. Vanderlip and B. E. Shi, “Exploiting solid state ultrasonic motors for robotics,” Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1988, 513–517 (1988).
• 2) Y. Egashira, K. Kosaka, T. Iwabuchi, T. Kosaka, T. Baba, T. Endo, H. Hashiguchi, T. Harada, K. Nagamoto, M. Watanabe, T. Yamakawa, N. Miyata, S. Moriyama, Y. Morizono, A. Nakada, H. Kubota and T. Ohmi, “Sub-nanometer resolution ultrasonic motor for 300 mm wafer lithography precision stage,” Jpn. J. Appl. Phys., 41, 5858–5863 (2002).
• 3) Y. Tomikawa, T. Ogasawara and T. Takano, “Ultrasonic motors constructions/characteristics/applications,” Ferroelectrics, 91, 163–178 (1989).
• 4) M. Kurosawa, H. Yamada and S. Ueha, “Hybrid transducer type ultrasonic linear motor,” Jpn. J. Appl. Phys., 28, Suppl. 28-1, 158–160 (1989).
• 5) C. H. Yun, T. Ishii, K. Nakamura, S. Ueha and K. Akashi, “A high power ultrasonic linear motor using a longitudinal and bending hybrid bolt-clamped Langevin type transducer,” Jpn. J. Appl. Phys., 40, 3773–3776 (2001).

タイトルに関連する用語 (5件)： ボルト締めランジュバン型振動子 ,  V形 ,  トランスデューサ ,  高分解能 ,  超音波リニアモータ