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J-GLOBAL ID：200902299030343902   整理番号：07A0501314

XPSスペクトルにおけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のアモルファス性の解析

著者 (6件)： 鷹林将 (広島大 大学院) ,  元光邦彦 (広島大 大学院) ,  岡本圭司 (広島大 大学院) ,  岡本圭司 (トーヨーエイテック) ,  中谷達行 (トーヨーエイテック) ,  高萩隆行 (広島大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 115th  ページ： 198-199  発行年： 2007年02月22日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,...
準シソーラス用語： けい素基板 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： XPS ,  スペクトル ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  DLC ,  薄膜 ,  アモルファス ,  解析