テトラメチルシラン蒸気での電子輸送係数の測定

YOSHIDA Kosaku; MORI S; KISHIMOTO Y; OHUCHI H; HASEGAWA H; SHIMOZUMA M; TAGASHIRA H

文献

J-GLOBAL ID：200902299406763169 整理番号：05A0621480

テトラメチルシラン蒸気での電子輸送係数の測定

Measurement of electron transport coefficients in tetramethylsilane vapour

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資料名：
巻： 38 号： 12 ページ： 1918-1922 発行年： 2005年06月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

SiCなどのプラズマCVDに用いるテトラメチルシラン(Si(...

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プラズマ一般

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