MEMSのトライボロジー  NEMS/MEMS技術によるタンパク質モータのナノ・マイクロデバイスヘの応用

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J-GLOBAL ID：200902299623474299 整理番号：04A0132358

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巻： 49 号： 2 ページ： 141-148 発行年： 2004年02月15日
JST資料番号： F0390A ISSN： 0915-1168 CODEN： TORAEO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

MEMS(Micro Electro Mechanical ...

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生物学的機能 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (33件)：

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