特許

J-GLOBAL ID：200903000003181443

圧力センサ

発明者： 坂田 將人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-416653
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172761
出願日： 2003年12月15日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 圧力検出用のダイアフラムを有する中空筒状のステムと、このダイアフラムの変形を検出するセンサチップとを備える圧力センサにおいて、外部との電気接続を取るための部品点数を削減し、センサ体格の小型化を実現する。【解決手段】 中空筒状をなし、外面の一部に圧力によって変形可能なダイアフラム11を有するとともに中空部へ圧力を導入するための開口部12を有するステム10と、ダイアフラム11上に設けられダイアフラム11の変形に応じた電気信号を出力するセンサチップ20とを備える圧力センサにおいて、ステム10には、センサチップ20からの電気信号を外部へ取り出すためのターミナル部材30が、ステム10に対して電気的な絶縁部材50を介して接合されており、センサチップ20とターミナル部材30とはワイヤ40を介して電気的に接続されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

中空筒状をなすものであって、外面の一部に圧力によって変形可能なダイアフラム(11)を有するとともに中空部へ圧力を導入するための開口部(12)を有するステム(10)と、 前記ダイアフラム(11)上に設けられ、前記ダイアフラム(11)の変形に応じた電気信号を出力するセンシング部(20)とを備える圧力センサにおいて、 前記ステム(10)には、前記センシング部(20)からの電気信号を外部へ取り出すためのターミナル部材(30)が、前記ステム(10)に対して電気的に絶縁された状態で接合されており、 前記センシング部(20)と前記ターミナル部材(30)とは、ワイヤ(40)を介して電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L9/00 ,  H01L29/84

FI (2件)：

G01L9/00 301J ,  H01L29/84 B

Fターム (18件)：

2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE13 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA08 ,  4M112CA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-327510   出願人：株式会社デンソー