特許
J-GLOBAL ID:200903002364099167
圧力センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-327510
公開番号(公開出願番号):特開2001-272297
出願日: 2000年10月26日
公開日(公表日): 2001年10月05日
要約:
【要約】【課題】 ダイヤフラムを有するステムを圧力導入可能なハウジングに固定した圧力センサにおいて、ハウジングの小型化に適したステムのハウジングへの固定構造を提供する。【解決手段】 圧力導入可能な圧力導入通路13を有するハウジング10内には、軸一端側に圧力検出用のダイヤフラム21及び該ダイヤフラム21の変形に応じた電気信号を出力するセンサチップ30を有し、軸他端側に圧力導入通路13と連通する開口部22を有する中空筒状の金属製ステム20が、2個収納されており、各ステム20の外周の側面にはネジ部24が形成されており、このネジ部24を介して、各ステム20は、軸他端方向へ押圧されるように、ハウジング10にネジ結合されている。
請求項(抜粋):
圧力導入可能な圧力導入通路(13)を有するハウジング(10)と、このハウジングに収納されるとともに、軸一端側に前記ハウジングに導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(21)を有し、軸他端側に前記圧力導入通路と連通する開口部(22)を有する中空筒状のステム(20)と、前記ダイヤフラム上に設けられ、前記ダイヤフラムの変形に応じた電気信号を出力する検出部(30)と、を備える圧力センサであって、前記ステムの外周の側面には、前記ステムを軸他端方向へ押圧するように前記ハウジングとネジ結合を行うためのネジ部(24)が一体に形成されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 19/14
, G01L 9/02
, G01L 23/24
FI (3件):
G01L 19/14
, G01L 9/02
, G01L 23/24
Fターム (7件):
2F055AA22
, 2F055BB12
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE14
, 2F055FF43
, 2F055GG12
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平1-296130
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静電容量式圧力センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-267182
出願人:株式会社デンソー
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半導体圧力センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-298593
出願人:松下電工株式会社
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