特許

J-GLOBAL ID：200903000010146718

位置検出装置

発明者： 小泉 豊 ,  海保 文雄 ,  小杉 泰仁 ,  神保 隆一
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331480
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147105
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光の急峻な変化や位相検出信号の振幅変動等による誤動作を防止でき、しかも位置検出の分解能が高い位置検出装置を実現する。【解決手段】 干渉計を用いて光学的に検出対象の位置を検出する位置検出装置において、位相検出器で干渉縞の位相を検出し、角周波数ωsが検出対象の移動量に応じて変調される変調信号を得る。この変調信号に信号に演算処理を施し、角周波数が(ωc+ωs)の信号(ωc≫ωs)を得る。この信号をコンパレータでパルス化し、分周する。分周した信号の周期を計測し、計測周期をもとに検出対象の位置を求める。

請求項（抜粋）：

検出対象の移動に伴って移動する一定ピッチの干渉縞を光の干渉を利用して生成する光学回路部と、干渉縞の配列方向に沿ってずらして配置した複数の受光素子により干渉縞を検出し、検出対象の移動量に応じて変調される2種の変調信号を生成する位相検出器とを備えた位置検出装置において、前記2種の変調信号に原振クロックをもとに生成した基準信号をそれぞれ乗算する乗算器と、前記2つの乗算信号を加算する加算器と、を設けたことを特徴とする位相検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

Fターム (36件)：

2F064AA03 ,  2F064BB05 ,  2F064CC04 ,  2F064DD01 ,  2F064DD08 ,  2F064FF01 ,  2F064FF05 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064GG38 ,  2F064GG53 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ13 ,  2F065AA09 ,  2F065BB25 ,  2F065DD03 ,  2F065FF13 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL36 ,  2F065MM03 ,  2F065NN05 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ51

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-283165   出願人：横河電機株式会社
• 特公昭49-000221