特許
J-GLOBAL ID：200903000016234112

強誘電体薄膜処理排ガスの除害処理方法

発明者：
折原 逸雄

折原 逸雄 について

, 
福島 守之

福島 守之 について

, 
茂木 栄作

茂木 栄作 について


出願人/特許権者：
関東電化工業株式会社

関東電化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222660
公開番号（公開出願番号）：特開平10-057761
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 成膜材料として有機金属化合物を用いる強誘電体薄膜生成工程から排出される未反応有機金属化合物及び/またはその分解生成物を含む排ガスを簡便な装置及び操作で効率的に処理して無害化すること。【解決手段】 金属酸化物単独、または金属酸化物と金属との混合物からなる触媒を用いて、好ましくは約50°C以上の温度で強誘電体薄膜処理排ガスを接触処理して無害化する。
請求項（抜粋）：
成膜材料として使用の有機金属化合物の未反応物及び/または分解物を含む強誘電体薄膜処理排ガスを、金属酸化物単独または金属酸化物と金属との混合物からなる触媒と接触させることを特徴とする上記排ガスの除害処理方法。
IPC (9件)：
B01D 53/86 ZAB ,  B01J 21/04 ,  B01J 21/08 ZAB ,  B01J 23/42 ,  B01J 23/72 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/75 ,  B01J 23/755 ,  H01L 21/205
FI (9件)：
B01D 53/36 ZAB G ,  B01J 21/04 A ,  B01J 21/08 ZAB A ,  B01J 23/42 A ,  B01J 23/72 A ,  H01L 21/205 ,  B01J 23/74 301 A ,  B01J 23/74 311 A ,  B01J 23/74 321 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM