特許

J-GLOBAL ID：200903000118640719

パーティクル発生の少ない高密度磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット

発明者： 野中 荘平 ,  白井 孝典 ,  杉内 幸也
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (3件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-278314
公開番号（公開出願番号）：特開2008-095149
出願日： 2006年10月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】パーティクル発生の少ない高密度磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】酸素:0.5〜40原子%、Cr:2〜20原子%、Pt:4〜30原子%、Ti:0.5〜20原子%を含有し、残部:Coおよび不可避不純物からなる成分組成を有する焼結体からなるターゲットにおいて、前記ターゲット素地中にCr、Tiおよび酸素からなる酸化物粒子が均一分散している組織を有し、前記Cr、Tiおよび酸素からなる酸化物粒子は、Cr、Tiおよび酸素の合計を100原子%とした場合、Cr:3〜10原子%、Ti:25〜35原子%を含有し、残部が酸素からなる酸化物粒子であることを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

酸素:0.5〜40原子%、Cr:2〜20原子%、Pt:4〜30原子%、Ti:0.5〜20原子%を含有し、残部:Coおよび不可避不純物からなる成分組成を有する焼結体からなるターゲットにおいて、前記ターゲット素地中にCr、Tiおよび酸素からなる酸化物粒子が均一分散している組織を有し、前記Cr、Tiおよび酸素からなる酸化物粒子は、Cr、Tiおよび酸素の合計を100原子%とした場合、Cr:3〜10原子%、Ti:25〜35原子%を含有し、残部が酸素からなる酸化物粒子であることを特徴とするパーティクル発生の少ない高密度磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット。

IPC (6件)：

C23C 14/34 ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/851 ,  C22C 19/07 ,  C22C 32/00 ,  C22C 1/05

FI (6件)：

C23C14/34 A ,  G11B5/65 ,  G11B5/851 ,  C22C19/07 C ,  C22C32/00 P ,  C22C1/05 D

Fターム (29件)：

4K018AA10 ,  4K018AB01 ,  4K018AC01 ,  4K018BA01 ,  4K018BA04 ,  4K018BB04 ,  4K018BC02 ,  4K018BC12 ,  4K018EA01 ,  4K018HA08 ,  4K018KA42 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5D006BB01 ,  5D006BB06 ,  5D006BB07 ,  5D006BB09 ,  5D006EA03 ,  5D112AA05 ,  5D112BB05 ,  5D112FA04 ,  5D112FB02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 磁気記録媒体製造用スパッタリングターゲット、それを用いた磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-046471   出願人：富士電機株式会社
• 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-166666   出願人：昭和電工株式会社