特許

J-GLOBAL ID：200903000136515123

ステージ位置決め制御装置および能動的除振装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279323
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102858
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 ステージおよび定盤の振動を抑え、位置決め精度の向上および位置決め時間の短縮を図る。【解決手段】 定盤と、この上に搭載された精密位置決めのステージと、定盤のピッチング、ローリングおよびヨーイング振動を検出するためのピッチング、ローリングおよびヨーイング検出手段と、定盤上のステージの駆動方向の加速度を検出する定盤加速度フィードバック用の加速度センサとを備え、加速度センサの出力に含まれるステージの駆動方向以外の振動成分をピッチング検出手段、ローリング検出手段およびヨーイング検出手段により検出した信号に基づいて除去し、得られた加速度信号を適切な時定数および最適なゲインを持たせたフィルタを介してステージを駆動する電力アンプに加算する。

請求項（抜粋）：

定盤と、前記定盤上に搭載された精密位置決めのステージと、前記定盤のピッチング、ローリングおよびヨーイング振動を検出するためのピッチング、ローリングおよびヨーイング検出手段と、前記定盤上の前記ステージの駆動方向の加速度を検出する加速度センサとを備え、前記加速度センサの出力に含まれる前記ステージの駆動方向以外の振動成分を前記ピッチング、ローリングおよびヨーイング検出手段により検出した信号に基づいて除去し、得られた加速度信号を適切な時定数および最適なゲインで加工して前記ステージを駆動する電力アンプに加算することを特徴とするステージ位置決め装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 520 A ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 F