特許
J-GLOBAL ID:200903000168391965

シャッタ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-219066
公開番号(公開出願番号):特開2006-039219
出願日: 2004年07月27日
公開日(公表日): 2006年02月09日
要約:
【課題】薄型の特徴を損なうことなく遮光膜の位置検知機能を備えたシャッタ装置を提供すること。【解決手段】駆動電極116を備えると共に、少なくともシャッタ開口に対応する部位114が光透過性に構成された下部基板101と、該下部基板101の上記駆動電極116を備えた面上に配置され、その一部が導電性を備える、静電駆動で走行する遮光膜121とを具備するシャッタ装置において、上記下部基板101上に交流電圧が印加される共通センシング電極117と全開センシング電極119と、それら共通センシング電極117及び全開センシング電極119に流れる電流を検知する全開検出用交流電流計136とを更に備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
駆動用の走査電極を備えると共に、少なくともシャッタ開口に対応する部位が光透過性に構成された基板と、 上記基板の上記走査電極を備えた面上に配置され、その一部が導電性を備える、静電駆動で走行する遮光膜と、 上記基板上に交流電圧が印加される少なくとも一対の位置検知電極と、 上記位置検知電極に流れる電流を検知する手段と、 を具備することを特徴とするシャッタ装置。
IPC (2件):
G03B 9/36 ,  H01L 21/027
FI (3件):
G03B9/36 A ,  G03B9/36 E ,  H01L21/30 515E
Fターム (7件):
2H081AA21 ,  2H081AA23 ,  2H081AA27 ,  2H081BB14 ,  2H081CC63 ,  5F046BA04 ,  5F046CB06
引用特許:
出願人引用 (1件)

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