特許

J-GLOBAL ID：200903000208766614

ウエハ洗浄用組成物及びそれを用いた洗浄方法

発明者： 三村 康也 ,  松下 景太 ,  神田 裕之
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 藤吉 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366601
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189794
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 レジストとワックスの両方に対して洗浄力が強く、加熱使用が可能であり、環境破壊に対する問題点が少なく、しかも人体に対して安全性が高いウエハ洗浄用組成物を提供する。【解決手段】 ヒドロキシモノカルボン酸エステルとテルペン類を混合した洗浄剤を使用することにより、課題を解決できる。

請求項（抜粋）：

テルペン系溶剤及びヒドロキシモノカルボン酸エステルからなるウエハ洗浄用組成物。

IPC (5件)：

C11D 7/50 ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/60 ,  H01L 21/304 647

FI (5件)：

C11D 7/50 ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/60 ,  H01L 21/304 647 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特許第2561964号
  
• レジスト剥離剤除去用洗浄剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-355429   出願人：日東化学工業株式会社, ナガセ電子化学株式会社
• 特開平3-212936
  
• 特表平6-503685
  
• 特開平3-041170